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日本FUJIKIN 精品壓力傳感器深圳倉庫現(xiàn)貨

應(yīng)用任何壓力都可以通過電信號設(shè)定。當(dāng)多個質(zhì)量流量連接到一條管線時，壓力會被調(diào)整，以使氣體流量的快速波動不會影響其他質(zhì)量流量?？捎米骶A背面冷卻的控制器。用于下游壓力控制。
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日本FUJIKIN 精品壓力傳感器深圳倉庫現(xiàn)貨

應(yīng)用
任何壓力都可以通過電信號設(shè)定。
當(dāng)多個質(zhì)量流量連接到一條管線時，壓力會被調(diào)整，以使氣體流量的快速波動不會影響其他質(zhì)量流量。
可用作晶圓背面冷卻的控制器。
用于下游壓力控制。

特征

規(guī)格

模型	UPC （下游壓力控制器）		FCST1050(M) ZFFCST1050(M)ZD(DeviceNet)
壓力范圍	FS 13.3kPa abs.(100Torr)	FS 150/300/500kPa	FS 150/300/500kPa
控制壓力范圍	1 到 100%	1 至 100% *1
控制閥CV值	-	L型：0.0055 / M型：0.011 / H型：0.03
壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng) （自動調(diào)零后）	1～40%：±0.2%FS 40～100%：±0.5%SP	FS 150kPa abs. [1 至 40%：±0.2%FS，40 至 100%：±0.5%SP] FS 300/500kPa abs. [1 至 20%：±0.1%FS，20 至 100%：±0.5% SP]
供氣壓力范圍	0 至 200kPaG	～897.3kPaG	-
耐壓性	200kPaG	1MPaG
外部泄漏	＜1.0×10 -10 Pa?m3 /sec
使用溫度范圍	0～50℃（系統(tǒng)保證溫度范圍：15～35℃）*2
電源電壓、電流消耗	+15VDC：120mA，-15VDC：120mA DeviceNet：+11 至 25VDC，4.0W
壓力設(shè)定/輸出信號	0-10VDC/0-10VDC	0-5VDC/0-5VDC
接液部分材料	SUS316L，鎳鈷合金	SUS316L，鎳鈷合金，F(xiàn)S9
連接配件/尺寸	1.5W-Seal (79.8mm), 1/4 inch UJR (124mm)	1.5W-Seal (79.8mm), 1/4 inch UJR (106, 124mm), 1.125W-Seal (92mm)

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