深圳倉(cāng)庫(kù)現(xiàn)貨 日本FUJIKIN 壓力 控制器

深圳倉(cāng)庫(kù)現(xiàn)貨 日本FUJIKIN 壓力 控制器

應(yīng)用
任何壓力都可以通過(guò)電信號(hào)設(shè)定。
當(dāng)多個(gè)質(zhì)量流量連接到一條管線時(shí)，壓力會(huì)被調(diào)整，以使氣體流量的快速波動(dòng)不會(huì)影響其他質(zhì)量流量。
可用作晶圓背面冷卻的控制器。
用于下游壓力控制。

●工作原理：內(nèi)置壓力傳感器，保持壓力恒定。
●可通過(guò)電信號(hào)設(shè)定任意壓力。
●在質(zhì)量流量控制器的上游連接時(shí)，可以進(jìn)行非常穩(wěn)定的流量控制。
●當(dāng)多個(gè)質(zhì)量流量控制器連接到一條線路時(shí)，氣體流量的突然波動(dòng)可能會(huì)影響其他質(zhì)量流量控制器。在這種情況下，使用 UPC 系列可以防止這種影響（下游壓力控制型）。
●UPCUS（上游壓力控制型）保持MO-CVD等液源的內(nèi)部壓力恒定，提高汽化量的穩(wěn)定性。
●可用作晶片背面冷卻的控制器。還提供帶流量監(jiān)控器的高溫型（150°C、250°C）。
●可用于從半導(dǎo)體、平板顯示器、太陽(yáng)能電池板等技術(shù)產(chǎn)業(yè)到一般產(chǎn)業(yè)的廣泛領(lǐng)域的壓力控制。
●兼容DeviseNet TM接口（請(qǐng)注明）。符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)：本產(chǎn)品符合 RoHS 規(guī)定并且是環(huán)保的。