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產(chǎn)品分類
Cassification
產(chǎn)品展示/ Product display
ULVAC愛發(fā)科 精品 分析/測(cè)量 電離真空計(jì)可連接不同測(cè)量范圍的探頭：多離子計(jì)允許根據(jù)應(yīng)用選擇探頭。緊湊：明顯小于傳統(tǒng)產(chǎn)品（控制器體積減少 56%），提高可用性：可通過(guò) PC/智能手機(jī)連接進(jìn)行設(shè)定點(diǎn)設(shè)置、狀態(tài)確認(rèn)等產(chǎn)品陣容豐富：除了模擬輸出規(guī)格（ST200-A）和串行通信規(guī)格（ST200-R）外，還將增加EtherCAT規(guī)格（ST200-E）。
產(chǎn)品型號(hào)：ST200-A廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時(shí)間：2025-11-04訪 問(wèn) 量：630
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ULVAC愛發(fā)科 精品 分析/測(cè)量 電離真空計(jì)
ULVAC愛發(fā)科 精品 分析/測(cè)量 電離真空計(jì)
用于有機(jī)EL、觸摸屏等制造設(shè)備的極限壓力確認(rèn)和工序管理。
用于檢查真空爐等各種工業(yè)真空設(shè)備的極限壓力。
用于在含有大量碳?xì)浠衔铮ㄓ突┑拇髿庵羞M(jìn)行測(cè)量
用于在真空零件加工過(guò)程中殘留有切削油或清洗液的環(huán)境中進(jìn)行測(cè)量。
適用于旨在減少更換真空計(jì)探頭頻率的真空設(shè)備。
*在腐蝕性氣體（鹵素氣體）氣氛中使用時(shí)，請(qǐng)與我們聯(lián)系。
可連接不同測(cè)量范圍的探頭：多離子計(jì)允許根據(jù)應(yīng)用選擇探頭。
緊湊：明顯小于傳統(tǒng)產(chǎn)品（控制器體積減少 56%），
提高可用性：可通過(guò) PC/智能手機(jī)連接進(jìn)行設(shè)定點(diǎn)設(shè)置、狀態(tài)確認(rèn)等
產(chǎn)品陣容豐富：除了模擬輸出規(guī)格（ST200-A）和串行通信規(guī)格（ST200-R）外，還將增加EtherCAT規(guī)格（ST200-E）。
三極管型金屬電離真空計(jì)：真空計(jì)即使在惡劣環(huán)境下也能實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)壽命。
燈絲壽命通知功能：通過(guò)監(jiān)控?zé)艚z功率，可以提前通知燈絲壽命。
壓力測(cè)量范圍廣：可測(cè)量大氣壓至高真空范圍（1×10 +5～ 1×10 -5 Pa）（連接選購(gòu)件SWU10-R時(shí)）
精確的大氣壓力測(cè)量：可以檢查腔室開口的大氣壓力（當(dāng)連接可選單元 SAU 時(shí)）
| 模型 | ST200-A | ST200-R | ST200-E（預(yù)定發(fā)布） | |
|---|---|---|---|---|
| 規(guī)格 | 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格 | 串行通訊規(guī)格 | EtherCAT規(guī)格 | |
| 適應(yīng)性強(qiáng)的多離子規(guī)傳感器 | SWT-16(NW16), SWT-25(NW25) | |||
| 可連接的傳感器 | 多離子壓力傳感器：1 件 皮拉尼壓力計(jì) SWU10-R：1 件（可選） 大氣壓力傳感器 SAU：1 件（可選） | |||
| 重復(fù)性（N 2） | ST200單模：±2% | |||
| 采樣時(shí)間 | 60ms 5次移動(dòng)平均處理 | |||
| 測(cè)量值輸出 | 輸出電壓 DC 0 至 10V LOG 輸出 0.75V/1 位 壓力轉(zhuǎn)換公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^ | |||
| 更新時(shí)間 | 60毫秒 | |||
| 控制輸入信號(hào) | FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF 采用集電極開路輸入、負(fù)邏輯操作 | - | - | |
| 控制輸出信號(hào) | 傳感器錯(cuò)誤、設(shè)定值 1/2/3、發(fā)射有效、 燈絲功率監(jiān)控 額定值：最大24V 、最大50mA 、飽和電壓 1V | - | - | |
| 串行通訊規(guī)格 | - | RS232C/RS-485 | EtherCAT | |
| LED表示 | POWER/ERROR：電源、錯(cuò)誤 LED（閃爍狀態(tài)根據(jù)每種模式而變化） | |||
| 發(fā)射電流 | 2mA（1×10 -2 Pa以下）、10μA（1×10 -2 Pa以上） | |||
| 脫氣 | 電子轟擊法，發(fā)射電流2mA，柵極電壓約330V | |||
| 傳感器耐壓 | 2×10 + 5Pa（絕對(duì)壓力） * 必須單獨(dú)考慮法蘭、卡箍等的耐壓性能。 | |||
| 傳感器內(nèi)容積 | 17厘米3（SWT-16）、19厘米3（SWT-25） | |||
| 工作溫度限制 | 10～50℃ | |||
| 工作濕度范圍 | 15 至 80%（無(wú)冷凝） | |||
| 保管溫度 | -20～65℃（不通電時(shí)不結(jié)露） | |||
| IP保護(hù)等級(jí) | IP30 | |||
| 電源電壓 | DC20~28V（紋波、噪聲1%以下） 8W以下 | |||
| 輸入/輸出連接器 | D-sub15針（M2.6螺絲） | |||
| 質(zhì)量 | 控制器：約 280g 測(cè)頭（SWT-16、SWT-25）：80g | |||
| 外形尺寸 寬×深×高 | 69mm×63mm×90mm（控制器部分） | |||
| 兼容標(biāo)準(zhǔn) | 這 | |||
| 選項(xiàng) | 多離子計(jì)傳感器 | SWT-16 (NW16)、SWT-25 (NW25) 材質(zhì)： 燈絲：Ir/Y 2 O 3涂層 其他：PtC-Mo、SUS304、W、Kovar 玻璃、Kovar/Ni 鍍層 | ||
| 皮拉尼壓力計(jì) | SWU10-R *也兼容傳統(tǒng)SPU | |||
| 皮拉尼壓力傳感器 | SWP-16(NW16)、SWP-25(NW25)、SWP-R1/8(R1/8)、SWP-P18(Φ18管端)、SWP-P15(Φ15管端)、SWP-CF16(ICF034) 材質(zhì)：燈絲 - Pt、其他 - BS/Ni、電鍍、Ni、焊料 | |||
| 大氣壓力傳感器 | SAU(NW16) 材質(zhì)：SUS316L | |||
| 單元電纜 | GUC-200P（SWU用）：0.5m, 1m, 2m GUC-200A（SAU用）：0.5m, 1m, 2m | |||
| 顯示單元 | 1CH：ISG1 (DC24V電源使用) | |||
| 顯示單元電纜 | SH200至顯示單元電纜 2m、5m、10m、15m、20m、25m、30m、35m、40m | |||
| 連接器 | 輸入/輸出連接器（D-sub15-soket（M2.6mm螺絲）） | |||
| 其他的 | 檢驗(yàn)報(bào)告、一般校準(zhǔn)測(cè)試報(bào)告、JCSS校準(zhǔn)證書 | |||
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