如何選擇真空計(jì)

更新時(shí)間：2024-06-14

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在測(cè)量真空度時(shí)，有壓力接近大氣壓的地方，也有壓力達(dá)到超高真空的地方，所以不可能僅用一種真空計(jì)來(lái)覆蓋。即使考慮到殘余氣體的成分，真空設(shè)備中也存在各種氣體。其中，對(duì)真空計(jì)產(chǎn)生負(fù)面影響的典型是油蒸氣、氧氣、水蒸氣等有機(jī)蒸氣。在低真空中，空氣常常殘留，但在中真空和高真空中，油蒸氣的比例增加。此外，有許多真空設(shè)備主要處理水蒸氣，例如用于冷凍干燥的真空設(shè)備。如上所述，真空計(jì)的使用條件多種多樣，因此在選擇時(shí)，除了測(cè)量壓力范圍和目標(biāo)氣體外，還需要檢查以下項(xiàng)目。 1.檢查是否可以在您想要測(cè)量的壓力范圍內(nèi)使用，并檢查導(dǎo)致測(cè)量極限的原因。 2、真空計(jì)是否被可能測(cè)量的氣體污染或損壞？ 3. 準(zhǔn)確度夠嗎？米大嗎？原則上有什么問(wèn)題嗎？ 4、真空表對(duì)氣體狀況有影響嗎？被測(cè)氣體是否有可能因反應(yīng)而熱分解或成分發(fā)生變化？ 5. 可以測(cè)量總壓?jiǎn)幔快`敏度是否因氣體類(lèi)型而異？ 6. 連續(xù)指令還是電氣指令？可以得到電力輸出嗎？ 7. 響應(yīng)時(shí)間短嗎？ 8. 穩(wěn)定性、再現(xiàn)性、可靠性和壽命是否足夠？ 9、安裝、操作、維護(hù)、管理是否方便？ 10. 市售產(chǎn)品的可獲得性、獲取難度、價(jià)格等。

真空標(biāo)準(zhǔn)和可追溯性

真空度校準(zhǔn)裝置RT-8SV型

日本的真空標(biāo)準(zhǔn)（初級(jí)標(biāo)準(zhǔn)）是安裝在日本產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合研究所的光波干涉標(biāo)準(zhǔn)氣壓計(jì)（大氣壓～10 ² Pa，不確定度±0.7 Pa）、安裝在國(guó)立電子研究所的標(biāo)準(zhǔn)氣壓計(jì)技術(shù)。使用安裝的標(biāo)準(zhǔn) McLeod 真空計(jì)（1.3 至 1.3 x 10 ^-2 Pa，不確定度 ± 2%）作為參考。使用標(biāo)準(zhǔn)麥克勞德真空計(jì)的校準(zhǔn)是對(duì)日本真空協(xié)會(huì)要求的亞標(biāo)準(zhǔn)電離真空計(jì)燈泡VS-1進(jìn)行的，該校準(zhǔn)真空計(jì)具有二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)（工作壓力范圍2.7×10 ^-1 ~1.3× 10 ^-4 Pa，不確定度±3%），是目前的真空計(jì)。這通常用作標(biāo)準(zhǔn)并用于校準(zhǔn)其他實(shí)用真空計(jì)。 JISZ8750中詳細(xì)說(shuō)明了校準(zhǔn)方法，對(duì)于10 ^-2 Pa至10 ^-7 Pa左右的應(yīng)用，使用VS-1校準(zhǔn)的BA真空計(jì)可從制造商處購(gòu)買(mǎi)。如果按照這樣的方式校準(zhǔn)靈敏度，則實(shí)際使用的每臺(tái)真空計(jì)的靈敏度都將達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)。當(dāng)建立這樣的系統(tǒng)時(shí)，可追溯性被評(píng)估為已建立。

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真空標(biāo)準(zhǔn)和可追溯性